洁净无尘烘箱
一、设备用途:
Class 100百级洁净无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
二、产品特点：
1、在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100级；
2、内胆四周氩弧焊，耐高温硅胶密封，SUS304#不锈钢加热器，防机台本身所产生微尘；
3、采平面水平送风后经美国进口H.E.P.A Filter装置往前 (特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100排气口：３"φ(附自动启闭风门)
4、箱内空气封闭强制自循环，经耐高温空气过滤器反复过滤，使干燥箱工作室内处于无尘状态。水平循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度。
5、配压差计随时了解过滤器工作状态。
三、洁净度100级的洁净热处理：
HEPA高效过滤器与前出风型水平层流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与Class 100级洁净度最小限度控制风速距离。
四、技术参数：
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设备型号 |
EVC 150L□ |
EVC 320L□ |
EVC640L□ |
EVC 270L2【双层】 |
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内箱尺寸W*D*H mm |
500×500×600 |
600×600×900 |
800×800×1000 |
700×700×500 |
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外型尺寸W*D*H mm |
以实物为准(温度不同外箱尺寸不同) |
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工作温度范围 |
A: 250℃ B: 300℃ |
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洁净度 |
Class 100级（可定制Class 1000级，Class 10000级） |
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性能 |
解析精度 |
0.1℃ |
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分布均匀度 |
±2.5℃% |
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材质 |
外部材质 |
SPCC钢板粉体烤漆处理 |
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内部材质 |
SUS﹟304镜面不锈钢板 |
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隔热材质 |
玻璃纤维棉/陶瓷纤维棉 |
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密封材料 |
硅橡胶 |
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加热方式 |
热风循环加热/自然对流加热/热辐射加热 |
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加热系统 |
不锈钢高速加热器 |
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计时器 |
0.1S～9999H |
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温控器 |
普通数显温控型/触摸屏PLC程序控制器 |
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其它配件 |
多层强化玻璃视窗（260℃以内），隔层置物架（两片） |
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安全装置 |
电路系统负载保护，风机过载保护，温到计时时到断加热，故障警示灯 |
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选配件 |
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设备电源 |
AC 220V或380V 50HZ |
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备注：1、以上数据均在环境温度（QT）25℃.工作室无负载条件下测得。 |
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